ГНПО "Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника"

Национальная академия наук Беларуси

Лаборатория микро- и наносенсорики

О лаборатории

Лаборатория вакуумной микроэлектроники была создана в Институте электроники академии наук БССР в 1973 году. Первым заведующим был доктор технических наук, профессор Григоришин Иван Леонтьевич. С 2004 года лабораторией руководит доктор технических наук, профессор Мухуров Николай Иванович. В 2007 году Институт электроники был присоединен к Институту физики НАН Беларуси, и в 2008 году лаборатория была переименована в лабораторию микро- электроники, механики и сенсорики. С 2016 года лаборатория вошла в состав ГНПО «Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника», а в 2017 году переименована в лабораторию микро- и наносенсорики.

Направления научной деятельности лаборатории
— формирование и изучение новых функциональных материалов на основе модифицированного анодного оксида алюминия
— разработка функциональных элементов и систем для микро- наноэлектроники, оптоэлектроники и микромеханики
— разработка конструктивных вариантов физических и химических датчиков, функционирующих на различных физических принципах
— разработка микро- и микрооптоэлектромеханических систем (МЭМС и МОЭМС)
— разработка и исследование различных функциональных микро- и наноустройств для биотехнологий и систем фильтрации и сепарации

Разработки

Химические сенсоры на основе алюмооксидной технологии

Тонкопленочные металлооксидные и комбинированный термокаталитический и термокондуктометрический сенсоры на термоэлектрическом эффекте, позволяющие селективно определять концентрацию водорода (0,01-100 об.%) в атмосфере воздуха. Cенсоры для контроля концентраций горючих и токсичных газов в различных средах, датчики влажности, мультисенсорные системы, включающие несколько сенсоров на одной подложке и другие микромеханические системы и аналоги вакуумных интегральных микросхем.


Прототип микросенсора водорода


Прототип сенсора озона

Физические сенсоры на основе алюмооксидной технологии


Прототип дилатометрического реле


Планарное электростатическое реле


Прототип сенсора влажности


Прототип сенсора рентгеновского излучения


Сенсор ускорения

Формирование оксида алюминия с высокой степенью упорядоченности и различными геометрическими параметрами для мембран, шаблонов для синтеза наноматериалов, а также упорядоченных массивов анизотропных наноразмерных структур в электронных, магнитных и фотонных приборах


РЭМ изображение анодного оксида алюминия


АСМ изображение анодного оксида алюминия

Формирование структур различного функционального назначения с заданными свойствами (высокие диэлектрическая прочность, эластичность, прецизионность размеров и др.).

Гибкие эластичные, прецизионные микроэлементы из пленочного анодного оксида алюминия

Формирование металлических структур с использованием шаблонов из анодного оксида алюминия заданной топологии с высоким аспектным соотношением, в частности селектирующих сеточных структур для датчиков космической плазмы


Прецизионный элемент сенсора потока плазмы

Публикации
  • New and modified anodic alumina membranes. I. Thermotreatment of anodic alumina membranes // J. of Membrane Science. – 1995. – Vol.98, No.2/3. – P.131-142.
  • Design and technological peculiarities of making vacuum integrated circuits of a thermo-cathode –based AC amplifier // Applied Surface Science. – 1997. – Vol.111. – P.101-105.
  • Перераспределение электронной плотности в Bi2Te3, легированном Sn // ФТТ. — 1999. — Т.41 , № 11. — С.1969-1972.
  • Исследование нанопористых подложек анодного оксида алюминия с осажденным в поры металлом для формирования микроминиатюрных электронных устройств // Микроэлектроника. — 2001. — Т.30, №3. — С.218-222.
  • Электрофизические свойства и электронная структура теллурида сурьмы, легированного оловом // ФТТ. — 2002. — Т.44, вып.10. — С.1766-1769.
  • Коэффициент направленного пропускания некоторых модификаций анодного оксида алюминия в УВИ диапазоне длин волн // Оптический журнал. — 2002. – Т.69, №1. — С.81-84.
  • Датчик водорода на термоэлектрическом преобразовании // Сенсор. – 2003. — №3. – С.47-54.
  • Сенсор озона на основе тонкопленочного оксида никеля // Сенсор. – 2004. — №4. – С.2-10.
  • Simulation of dynamics of phase transitions in CdTe by pulsed laser irradiation // Appl. Surf. Sci. – 2006. – Vol.253. No.2. – P.586-591.
  • Моделирование и разработка перспективных микроэлектромеханических структур на основе анодного оксида алюминия // Нано- и микросистемная техника. — 2006. — №1. – С.27-34.
  • Металлизация микроканалов в пористом анодном оксиде алюминия для создания перспективных метаматериалов / Журнал функциональных материалов (Journal of Functional Materials). – 2007. – Т.1, №3. – С.114-117.
  • Influence of electrolyte composition on photoluminescent properties of anodic aluminum oxide // Journal of Applied Spectroscopy. – 2008. – Vol.75, No.2. – P. 214-218.
  • Анализ электромеханических параметров электростатических микрореле с автономными держателями // Нано- и микросистемная техника. – 2008. — №6. – С.28-32.
  • Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаторов // Нано- и микросистемная техника. – 2008. №9. – С. 40 – 44.
  • Упругие элементы в микроэлектромеханических системах // Нано- и микросистемная техника. – 2008. №12. – С.12-22.
  • Photoluminescence of F-centers in films of anodic alumina //Journal of Applied Spectroscopy. – 2010. – Vol.77, No.4. – P.549-555.
  • A comparative study of surface-enhanced Raman scattering from silver-coated anodic aluminum oxide and porous silicon // Journal of Raman Spectroscopy. – – Vol.42, Issue1. – P.12–20.
  • Теоретическое моделирование плоскопараллельных двухэлектродных микроактюаторов // Нано- и микросистемная техника. – 2011. — №1. – C.15-23.
  • Функциональные возможности электротоковых микрореле // Нано- и микросистемная техника. – 2011. — №3. – C.39-42.
  • Chemical composition and surface morphology of anodic alumina determined by electron microscopy and thermogravimetry // J. Surf. Inv. X-ray, Synchr. Neutr. Techn. –2011. – №5. – P.1005-1010.
  • Электромеханические микроструктуры. – Минск: Беларуская навука, 2012. – 256с.
  • Effect of annealing on the phase composition and morphology of Al2O3 formed in a complex electrolyte // J. Surf. Inv. X-ray, Synchr. Neutr. Techn. 2013. – №7. – P.536-541.
  • Optical properties of anodic aluminum oxide produced in a complex electrolyte, Surf. Inv. X-ray, Synchr. Neutr. Techn. 2014. — Vol.8, №4. — P.636-640.
  • Ordered growth of anodic aluminum in galvanostatic and galvanostatic-potentiostatic mode // Journal of Materials Science and Nanotechnology. – 2014. – Vol.1, No1. – 6p.
  • Особенности формирования прецизионных чувствительных элементов датчиков космической плазмы // Нано- и микросистемная техника. – 2015. – № 1. – С.48-56.
  • Преобразование поляризации света с использованием нанопористых пленок оксида алюминия // Журнал прикладной спектроскопии. – 2015. – Т. 82, № 5. – С.766-772.
  • Photoluminescent properties of nanoporous anodic alumina doped with manganese ions // Journal of Luminescence – Vol.185. – P. 298-305.
Контакты