Micro- and Nanosensors Laboratory

About   Products   Publications   Contacts

Химические сенсоры на основе алюмооксидной технологии

Тонкопленочные металлооксидные и комбинированный термокаталитический и термокондуктометрический сенсоры на термоэлектрическом эффекте, позволяющие селективно определять концентрацию водорода (0,01-100 об.%) в атмосфере воздуха. Cенсоры для контроля концентраций горючих и токсичных газов в различных средах, датчики влажности, мультисенсорные системы, включающие несколько сенсоров на одной подложке и другие микромеханические системы и аналоги вакуумных интегральных микросхем.

Прототип микросенсора водорода

 

Прототип сенсора озона

Физические сенсоры на основе алюмооксидной технологии


Прототип дилатометрического реле

 


Планарное электростатическое реле

 


Прототип сенсора влажности

 


Прототип сенсора рентгеновского излучения

 


Сенсор ускорения

 

Формирование оксида алюминия с высокой степенью упорядоченности и различными геометрическими параметрами для мембран, шаблонов для синтеза наноматериалов, а также упорядоченных массивов анизотропных наноразмерных структур в электронных, магнитных и фотонных приборах


РЭМ изображение анодного оксида алюминия


АСМ изображение анодного оксида алюминия

 

Формирование структур различного функционального назначения с заданными свойствами (высокие диэлектрическая прочность, эластичность, прецизионность размеров и др.).

Гибкие эластичные, прецизионные микроэлементы из пленочного анодного оксида алюминия

 

Формирование металлических структур с использованием шаблонов из анодного оксида алюминия заданной топологии с высоким аспектным соотношением, в частности селектирующих сеточных структур для датчиков космической плазмы


Прецизионный элемент сенсора потока плазмы