Лаборатория микро- и наносенсорики

О лаборатории   Разработки   Публикации   Контакты

Лаборатория вакуумной микроэлектроники была создана в Институте электроники академии наук БССР в 1973 году. Первым заведующим был доктор технических наук, профессор Григоришин Иван Леонтьевич. С 2004 года лабораторией руководит доктор технических наук, профессор Мухуров Николай Иванович. В 2007 году Институт электроники был присоединен к Институту физики НАН Беларуси, и в 2008 году лаборатория была переименована в лабораторию микро- электроники, механики и сенсорики. С 2016 года лаборатория вошла в состав ГНПО «Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника», а в 2017 году переименована в лабораторию микро- и наносенсорики.

Направления научной деятельности лаборатории:
— формирование и изучение новых функциональных материалов на основе модифицированного анодного оксида алюминия
— разработка функциональных элементов и систем для микро- наноэлектроники, оптоэлектроники и микромеханики
— разработка конструктивных вариантов физических и химических датчиков, функционирующих на различных физических принципах
— разработка микро- и микрооптоэлектромеханических систем (МЭМС и МОЭМС)
— разработка и исследование различных функциональных микро- и наноустройств для биотехнологий и систем фильтрации и сепарации